上一篇文章我们介绍了离子束抛光的去除函数，今天卓精艺带大家来看看具体的验证实验。

验证实验

采用K9、熔石英玻璃开展了多次面形实验，平均收敛率达50%以上，体现了离子束抛光确定性高、快速收敛的优点。其中，φ170 mm的石英试件两次加工后，88%(φ150 mm)范围内，PV值从0.1372(1=632.8 nm)收敛到0.0292, RMS值从0.0282收敛到0.0052,收敛效果显著，如下图所示。

-φ170 mm石英玻璃加工前后面形精度比较-

59%(φ100 mm)范围内，PV值从0.0542收敛到0.0162 (<1V62) ，RMS值从0.0142收敛到0.0022,达到了课题标的要求。粗糙度(R)方面，通过多次正交实验，研究了入射角、束压、束流、氩气流量对粗糙度的影响规律。对φ50 mm的石英试件进行粗糙度修整加工后，R。值从1.353 nm减小到0.545 nm，如下图所示。

-石英玻璃加工前后粗糙度-

总结展望

基于离子束溅射效应的离子束抛光技术，是超精密加工工艺体系中的重要一环。其利用惰性气体电离形成的离子轰击工件，产生特定的溅射现象，从而进行原子、分子加工单位的微量加工，相比其他CCOS抛光技术，具有加工单位小、无接触应力、去除函数可控性强、无材料选择性等突出优点。

因此，离子束抛光技术在超精密光学加工领域，特别是ICF高功率固体激光系统所需大口径轻薄光学元件的无边缘效应高精度高效加工、光刻机透镜组的超高精度加工等重大科学工程应用中具有举足轻重的意义。

在后续的工作中，为了使该设备在光学元件的超精密超光滑加工领域中能够有效、稳定、可靠地得到工程化应用，将结合工艺实验重点加强两个方面的研究内容:一是通过改进离子光学系统进一步优化去除函数的形态及去除效率；二是优化离子束抛光工艺参数并完善工艺软件核心算法,进一步提升离子束抛光工艺精度和加工收敛速度。

-蓝宝石离子束高精度修形-

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