产品介绍
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适用材料石英、微晶、ULE、BK7、单晶硅、碳化硅、蓝宝石、硫化锌等；
适用形状平面、球面的精密研磨和抛光；
加工精度纳米精度加工，RMS 1/100λ(λ=632.8nm)；
表面粗糙度优于0.5nm RMS；
产品优势
磁流变抛光机床床身厚重，结构坚固、牢靠、平整性好、稳定性好；主轴、摆轴运转顺滑平稳，稳定性和精度高，震动微小；高稳定抛光，超高表面质量，加工效率和成品率高。
技术参数
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项目 |
ZJY-NCM-600 |
ZJY-NCM-800 |
ZJY-NCM-1000 |
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运动轴数 |
X/Y/Z/A/B六轴六联动 （根据客户需求，三轴、五轴、六轴可选） |
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加工空间 |
500×600×240mm |
700×800×300mm |
1000×800×350mm |
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驱动形式 |
伺服电机、直线导轨 |
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重复定位精度 |
X/Y/Z 优于±5μm A/B ± 20" |
X/Y/Z 优于±5μm A/B/± 20" |
X/Y/Z 优于±10μm A/B ± 20" |
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最大运动速度 |
X/Y/Z6000mm/min A/B/C 20rpm |
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拋光轮尺寸 |
50mm/100mm/200mm |
100mm/200mm/340mm |
200mm/340mm |
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抛光轮最大转速 |
750rpm/300rpm |
750rpm/300rpm/200rpm |
300rpm/200rpm |
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抛光轮最大跳动 |
3μm /5μm/8μm |
5μm/8μm/20μm |
8μm/20μm |
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流量循环稳定性 |
2%(4h) |
2%(4h) |
2%(5h) |
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粘度循环稳定性 |
0.5%(4h) |
0.5%(4h) |
0.5%(4h) |
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去除函数稳定性 |
2%(4h) |
2%(4h) |
2%(5h) |
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加工精度 |
批量生产水平：优于1/70λ (λ=632.8nm) RMS |
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加工案例
