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行业知识:现代电子工业发展,超精密抛光是灵魂

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浏览:- 发布日期:2022-06-24 15:07:36【

导语:我们都知道,小磨头、磁流变、离子束抛光都属于超精密抛光的范畴,这些技术代表着我国现代电子工业的顶尖水平。

现代科技的发展日新月异,电脑越来越小、容量越来越大,手机越来越智能、功能越来越多,这些没有超精密抛光,都无法实现。可以说,现代电子工业发展,超精密抛光是灵魂。

超精密抛光技术在现代电子工业中所要完成的使命,不仅仅是平坦化不同的材料,而且要平坦化多层材料,使得几毫米见方的硅片通过这种“全局平坦化”形成上万至百万晶体管组成的超大规模集成电路。

以晶片制造为例,抛光是整个工艺的最后环,目的是改善晶片加工前一道工艺所留下的微小缺陷以获得最佳的平行度。

今天的光电子信息产业水平,对作为光电子基片材料的蓝宝石、单晶硅等材料的平行度要求越来越精密,已经达到了纳米级。这就意味着,抛光工艺也已随之进入纳米级的超精密程度。

超精密抛光工艺在现代制造业中有多重要,其应用的领域能够直接说明问题:集成电路制造、医疗器械、汽车配件、数码配件、精密模具、航空航天。几乎重要的领域都少不了这项技术。

作为一套技术要求极高的合成工艺,超精密化学机械抛光工艺精必须由抛光设备和材料(抛光液)组成,二者缺一不可。

超精密加工技术还包括超精密车削、镜面磨削、超精密研磨、机械化学抛光、CCOS小磨头抛光、磁流变抛光、离子束抛光、电子束曝射、激光束加工、离子溅射和离子注入、金属蒸镀及分子束外延等。

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